技术详细介绍
一种低温等离子体诊断装置,特别涉及等离子体诊断技术,针对现有同类技术抗干扰能力弱、实时性差而公开一种低温等离子体诊断装置;该装置由朗缪尔探针、电 源信号产生电路、信号采集电路及电源组成;朗缪尔探针与信号采集电路相连,信号采集电路和电源信号产生电路相连,电源分别与电源信号产生电路、信号采集电 路相连;本装置的优点是对等离子体的干扰小,可以进行实时测量,体积小,使用方便。
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