技术详细介绍
项目内容：
传感元件在单晶硅底层形成，含有磁控喷涂制取的叉指式铂电极测量系统，铂薄膜加热器，并且敏感层按照陶瓷工艺形成，以单个氧化物或者成分（WO3， VO2，La1-xPbXMnO3）为基础。
项目优势：对于单独气体，根据敏感层的化学成分，选择性提高，工作温度降低，可减少使用时的能源消耗。
技术性能：可确定下列气体：氨气，氧化碳、二氧化氮，有机乙醇气体和一系列溶剂，在其含量在大气102-105 ppm工作层温度450-600 К时的浓度。在空气压送模式里没有额外热量的情况下，传感器工作表面蓄热的平均时间为0。5-5分钟。工作晶体大小1х1毫米。
与同类产品相比：使用所研制气体传感器可检测在空气环境中在传感器工作层温度降低的情况下有无活性气体。
经济指标：使用复合氧化敏感层，与同类商业产品相比，
在使用中保证降低传感器电能消耗20??30 %。
应用范围：用于检测和从数量上监督活性给受气体在空气
和其他气体环境中是否存在。
合作方式：在小批量生产半导体气体传感器方面合作。
