[00970873]WT-1、WT-2型微电子图形计算机辅助测试仪
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技术详细介绍
ＷＴ－１型测试仪用于薄层电阻范登堡结构的测试，对集成电路生产工艺中扩散与离子注入形成的各种薄层电阻的均匀性，稳定性进行质量监测，为我国大规模集成电路的研制，生产提供了有效的监测、监控手段。它采用软件与硬件相结合，增加低通滤波器，选用差分输入线路以及数字滤波等办法，有效地抑制了干扰信号，提高了采集精度。ＷＴ－２型测试仪除保持ＷＴ－１型测试仪的功能与特点外，还增加了对金属与半导体接触电阻、导电层条宽和光刻套刻误差等参数的测试。